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NXP系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)產(chǎn)品概述
說明:
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)包含六軸耦合臺(tái)和三軸耦合臺(tái),以及可用于其他產(chǎn)品的手動(dòng)驅(qū)動(dòng)和電動(dòng)驅(qū)動(dòng)。它適用于光纖、波導(dǎo)、光電封裝和任何其他高分辨率對(duì)準(zhǔn)或定位應(yīng)用,包括通用實(shí)驗(yàn)室任務(wù)。創(chuàng)新的柔性設(shè)計(jì)與模塊化驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)相結(jié)合,提供了卓*的性能和靈活性。
NXP 系列六軸耦合臺(tái)的位移臺(tái)在移動(dòng)平臺(tái)前都有不銹鋼探針,標(biāo)記所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點(diǎn),所有旋轉(zhuǎn)軸都具有公共支點(diǎn),可以減少系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)時(shí)間。
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)產(chǎn)品內(nèi)部沒有導(dǎo)軌軸承,平行撓性設(shè)計(jì)確保滑臺(tái)連續(xù)的運(yùn)動(dòng)和長(zhǎng)期的穩(wěn)定性,非常適用于亞微米級(jí)分辨率的應(yīng)用。對(duì)于納米定位應(yīng)用,提供內(nèi)置壓電驅(qū)動(dòng)器的版本。這種結(jié)構(gòu)相對(duì)于滑臺(tái)組維的方式,穩(wěn)定性有極大的提高,在溫度較為恒定的條件下,產(chǎn)品適用于光纖對(duì)準(zhǔn)等需要保持靜態(tài)粘接的應(yīng)用中。
NXP 系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)可進(jìn)行手動(dòng)驅(qū)動(dòng) / 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)快換,可滿足空間中不同維度使用混裝驅(qū)動(dòng)器。
命名規(guī)則

NXP系列多維度光學(xué)耦合臺(tái)選型表
注:表格為NXP系列產(chǎn)品型號(hào)匯總,其中紅色標(biāo)注型號(hào)為研發(fā)中產(chǎn)品
六軸高精度耦合臺(tái)
型號(hào)  | NXP-6M  | NXP-6P  | NXP-6NP  | |
行程  | X 、Y 、Z直線行程為4 mm。Rx、 Ry、 Rz(擺動(dòng)、俯仰和偏轉(zhuǎn))行程為4 。(70mrad)  | |||
傳動(dòng)比  | X軸和Y軸傳動(dòng)比為1: 1.5,驅(qū)動(dòng)器每平移1 mm,位移臺(tái)將平移1.5 mm;Z軸的傳動(dòng)比為1:1;三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)每平移 1μm,旋轉(zhuǎn)17μrad  | |||
分辨率  | 見驅(qū)動(dòng)  | |||
旋轉(zhuǎn)中心  | 公共旋轉(zhuǎn)中心;最大串?dāng)_100 µm  | |||
 壓電  | 規(guī)格  | 
 無  | 開環(huán)壓電  | 閉環(huán)壓電  | 
行程  | 19µm  | |||
分辨率  | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad  | |||
最大負(fù)載  | 1kg  | |||
共振頻率  | >130 Hz(±10%)  | |||
熱穩(wěn)定性  | 1μm/℃  | |||
三軸高精度耦合臺(tái)
型號(hào)  | NXP-3M  | NXP-3P  | NXP-3NP  | |
行程  | 4 mm  | |||
傳動(dòng)比  | 1:1  | |||
分辨率  | 見驅(qū)動(dòng)  | |||
串?dāng)_  | 100um  | |||
頂板平行度  | <100µm  | |||
 壓電  | 規(guī)格  | 無  | 開環(huán)壓電  | 閉環(huán)壓電  | 
行程  | 19µm  | |||
分辨率  | X 、Y 、Z 1nm / Rx、 Ry、 Rz 0.018 µrad  | |||
最大負(fù)載  | 1kg  | |||
共振頻率  | >130 Hz(±10%)  | |||
熱穩(wěn)定性  | 1μm/℃  | |||
驅(qū)動(dòng)
型號(hào)  | DNXP-M  | DNXP-A  | 
驅(qū)動(dòng)類型  | 手動(dòng)  | 電動(dòng)  | 
行程  | 13mm 與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm  | 8mm 與NXP系列設(shè)備配合使用后行程4mm  | 
分辨率  | 粗調(diào)10 µm,微調(diào)0.5 µm  | 1.25 µm  | 
電機(jī)  | 無  | 28步進(jìn)電機(jī),步距角1.8。  | 
限位  | 內(nèi)置限位開關(guān)  | |
定位精度  | 雙向重復(fù)性為5.0 µm  | 
NXP多維度光學(xué)耦合臺(tái)尺寸圖


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