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拉曼/熒光/光電流綜合測試系統(tǒng) STS系列
產(chǎn)品概述
基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建,集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能。該系統(tǒng)可原位探測拉曼、熒光及光電流信號。配合高精度微米電動位移臺,實現(xiàn)Raman Mapping,PL Mapping以及激光誘導光電流成像(LBIC)。深度表征材料內部的分子振動能級與轉動能級結構信息,光生載流子的生成與復合機制,器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,光電材料界面以及半導體結區(qū)的品質分布等特性。

拉曼/熒光/光電流綜合測試系統(tǒng) STS系列技術參數(shù)
拉曼/拉曼Mapping  | 拉曼頻移范圍  | 60-6000cm-1 @532nm激光器  | 
共焦方式  | 光纖共聚焦  | |
高靈敏度  | 硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1,并能觀察到四階峰  | |
空間分辨率  | ≤1μm@100X物鏡,NA0.9,532nm單縱模激光器  | |
光譜CCD探測器  | 分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm區(qū)間處>90%, 光譜范圍:200 ~ 1100 nm  | |
熒光/熒光壽命成像  | 光譜掃描范圍  | 200-900nm  | 
最小時間分辨率  | 16ps  | |
熒光壽命測量范圍  | 500ps-10μs  | |
空間分辨率  | ≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器  | |
光電流/光電流成像  | 激光器(光源)  | 標配532nm激光器,能量穩(wěn)定性1%@4小時 可選配2路激光器用于光電流測試  | 
數(shù)據(jù)采集  | 電流源表:Keithley 2450 測量范圍:1nA – 1A 暗噪聲:50pA 分辨率:20fA 準確度: 0.03%  | |
探針臺  | 直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動,方便樣品位置與光斑位置重合 樣品位置單獨二維移動,方便同類樣品更換 樣品位置移動行程25mm,分辨率5μm 探針座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm 探針:鎢針,直徑5μm,10μm,20μm可選  | |
測試功能  | 光電流掃描(Mapping):可以設定固定的電壓,逐點獲取電流值 I-V曲線掃描(Mapping):可以設定*定的電壓區(qū)間,逐點獲取I-V曲線  | |
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