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壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環)
室溫 ·壓電運動解決?案 —“.Lab 系列“ 良好封裝的位移臺
外形緊湊,動?性能不折扣的壓電線性臺;同時保證優質的價格空間。
• 超安靜運動, 20 kHz驅動頻率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設計
• 閉環控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學型(.O)
• ?精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選
• 經濟型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm
• 最?步伐優于 10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉接件
• 控制器兼容旋轉臺,搖擺臺
• ?持?磁( .NM)、?真空( .HV)和超?真空 ( .UHV)選件
2D ·尺?圖
LS65x.Lab.O / .R 壓電線性臺 — 技術參數
可選版本 ?  | 正常版本  | .NM  | .HV  | .UHV  | |
.NM 絕對?磁版本; .HV, ?真空版本 ; .UHV ,超?真空版本;  | |||||
1 底?尺?*?度  | 65 × 65 mm × 12 mm  | ||||
2 主體材料  | 不銹鋼  | 純鈦  | 不銹鋼  | 不銹鋼  | |
3 線纜 & 接頭  | 標準屏蔽線纜 DSub9 接頭  | kapton漆包線, PEEK-2mm插針  | |||
運動參數-空間推薦安裝形式 I. (下列性質均在推薦安裝形式下測得)  | |||||
4 運動?程  | 30 mm  | ||||
5 最?速度  | ~ 20 mm/s  | ||||
6 最?步伐  | ~ 10 nm  | ||||
7 驅動頻率  | Max. 20 kHz (超安靜運動)  | ||||
8 最??平推?  | 2 N  | ||||
9 保持?  | 5 N  | ||||
0.3 mrad / 0.2 mrad  | |||||
10 全?程俯仰/偏擺  | |||||
運動參數-空間推薦安裝形式 II. (下列性質均在推薦安裝形式下測得)  | |||||
11  | 最?垂直負載  | 2 N  | |||
12  | 保持?  | 5 N  | |||
傳感精度  | |||||
13 位置傳感類型  | - 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O )  | ||||
14 位置傳感量程  | 30 mm  | ||||
15 位置傳感分辨率  | - 電阻型傳感( .R ), 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O ), 10 nm, 1nm可選(默認 10nm)  | ||||
