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壓電 · ?范圍掃描運動 — Carrier.S100-OB.Z
室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺 — 精密光學,半導體表征
• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um;
• 閉環定位精度優于 1nm;
• 最?負載 500 g;
• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決?案;
• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級
Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動對焦掃描臺 — 技術參數
可選版本 ?  | 正常版本  | ||
.NM 絕對?磁版本; .HV, ?真空版本 ; .UHV ,超?真空版本;  | |||
1  | 運動?向  | Z 軸  | |
2  | ?程  | 100 um  | |
3  | 線性度  | 0.02%  | |
4  | 搖擺 / 俯仰  | 30 urad  | |
5  | 內置傳感器  | 電容式傳感  | |
6  | 傳感器噪?  | 0.3 nm  | |
7  | Z ?向分辨率,開環  | 0.1 nm  | |
8  | 穩定時間 (90%位置到達)  | 15 ms  | |
0.4 N/um  | |||
9  | 剛性  | ||
10  | 共振頻率(?負載)  | 650 Hz  | |
11  | 共振頻率( 150 g 負載)  | 275 Hz  | |
12  | 整體重量  | 270 g  | |
13  | 不銹鋼304 ,鋁合?  | ||