Helios是全自動實時材料分級和過程控制的在線監控設備,
鑒別太陽能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕,提高生產效率的同時降低成本。每條生產線每年提升效益170萬美元!
應用:
1.進料監控  通過少子壽命自動對晶圓定級
2.過程控制  監控和優化關鍵工序,如擴散和鍍膜等
3.損傷鑒別  檢測電池片成品的破損和微小裂痕
 
特點:
1.       線上監控或線下分析都適用
2.       采用InGaAs探頭提升測量靈敏度,減少檢測時間
3.       采用高靈敏光學成像技術,每片晶圓測試時間<1s
4.       鑒別并預防低質量材料進入高損耗工序,降低成本
5.       采用簡單明了的圖形界面和是非判定
6.       相比于其他同類PL系統更具性價比
