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隔振光學(xué)平臺(tái)是一種用于精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)和測(cè)量的關(guān)鍵設(shè)備，主要功能是隔離外界振動(dòng)干擾，為光學(xué)元件提供穩(wěn)定的工作環(huán)境。
一．工作原理
1.氣浮隔振：利用壓縮氣體作為支撐和隔振介質(zhì)，通過氣體彈簧和阻尼系統(tǒng)來隔離振動(dòng)。氣浮支撐腿內(nèi)部充滿壓縮氣體，可調(diào)節(jié)氣壓控制平臺(tái)剛度和固有頻率，阻尼系統(tǒng)則通過氣體流動(dòng)或粘滯阻尼材料吸收振動(dòng)能量，自動(dòng)調(diào)平系統(tǒng)通過傳感器和氣壓調(diào)節(jié)保持平臺(tái)水平穩(wěn)定。
2.低頻高阻尼隔振：采用超軟剛度支撐，如特殊設(shè)計(jì)的空氣彈簧、磁懸浮或復(fù)合彈性材料，將系統(tǒng)固有頻率降至 0.5-2Hz，遠(yuǎn)低于普通建筑物振動(dòng)頻率，同時(shí)在平臺(tái)結(jié)構(gòu)中加入粘彈性聚合物等復(fù)合阻尼材料，或配備主動(dòng) / 半主動(dòng)阻尼裝置，快速消耗振動(dòng)能量，抑制共振。
二．結(jié)構(gòu)組成
1.臺(tái)面：通常采用蜂窩結(jié)構(gòu)或金屬復(fù)合材料，如鋁合金、不銹鋼等，兼顧輕量化和高剛性，表面有高精度平面度，部分臺(tái)面有螺紋孔，便于安裝光學(xué)元件。
2.隔振系統(tǒng)：包括被動(dòng)隔振和主動(dòng)隔振（可選）。被動(dòng)隔振使用彈性元件支撐臺(tái)面，主動(dòng)隔振通過傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)振動(dòng)，用電動(dòng)機(jī)或壓電陶瓷產(chǎn)生反向力抵消振動(dòng)。
3.阻尼層：在臺(tái)面或支撐結(jié)構(gòu)中填充粘彈性材料，如聚氨酯、丁基橡膠等，將振動(dòng)能量轉(zhuǎn)化為熱能耗散。
三．關(guān)鍵性能參數(shù)
1.固有頻率：被動(dòng)隔振平臺(tái)典型值為 0.5-5Hz，頻率越低，隔振效果越好，尤其對(duì)低頻振動(dòng)。
2.阻尼比：表征振動(dòng)衰減速度，一般設(shè)計(jì)為臨界阻尼的 20%-30%，避免共振放大。
3.振幅穩(wěn)定性：衡量平臺(tái)在振動(dòng)環(huán)境下保持穩(wěn)定的能力，高*平臺(tái)可將外界振動(dòng)衰減至原振幅的 1/100 以下。
4.臺(tái)面平整度：通常要求≤0.1mm/m2，確保光學(xué)元件對(duì)準(zhǔn)精度。
四．應(yīng)用領(lǐng)域
1.光學(xué)科研實(shí)驗(yàn)：如激光干涉測(cè)量、原子力 / 電子顯微鏡、量子光學(xué)實(shí)驗(yàn)、引力波探測(cè)等。
2.精密制造：光刻設(shè)備、精密光學(xué)裝配等對(duì)振動(dòng)敏感的制造工藝。
3.生物顯微成像：為生物顯微鏡提供穩(wěn)定環(huán)境，確保成像質(zhì)量。
五．選型注意事項(xiàng)
1.負(fù)載匹配：根據(jù)實(shí)驗(yàn)設(shè)備重量選擇合適承載能力的平臺(tái)，避免過載或剛度不足。
2.環(huán)境評(píng)估：預(yù)先測(cè)量實(shí)驗(yàn)室振動(dòng)頻譜，針對(duì)性選擇隔振頻率范圍。
3.安裝位置：盡量遠(yuǎn)離振源，如通風(fēng)設(shè)備、電梯等，必要時(shí)搭配獨(dú)立地基。
六．產(chǎn)品推薦
卓立漢光ZVI-FT系列氣浮主動(dòng)隔振平臺(tái)，面向科研與工業(yè)高敏場(chǎng)景，ZVIFT 是一款“6DOF 氣浮 + 主動(dòng)"的寬頻隔振平臺(tái)，在 0.8–150 Hz 提供顯著衰減，適合需要超低頻抑制、自動(dòng)水平與寬頻振動(dòng)控制的光學(xué) / 計(jì)量 / 半導(dǎo)體應(yīng)
• 卓*隔振性能：采用氣浮與主動(dòng)隔振結(jié)合技術(shù)，主動(dòng)隔振帶寬 0.8 - 150Hz ，對(duì)超低頻振動(dòng)抑制出色，臺(tái)面穩(wěn)定性≤±8μm ，在 2Hz、5Hz、10Hz、20Hz 處傳遞率低，隔振效果遠(yuǎn)超同類。
• 強(qiáng)大負(fù)載與定制能力：標(biāo)品負(fù)載 700 - 7500KG ，能滿足大型設(shè)備搭載需求。核心控制系統(tǒng)自研，支持臺(tái)面材料、厚度、孔徑、孔距等定制，適配不同實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景 。
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